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    公开号:WO1988006832A1
    申请号:PCT/JP1988/000236
    申请日:1988-03-03
    公开日:1988-09-07
    发明作者:Mamoru Yasuda；Hitoshi Toda
    申请人:Hosiden Electronics Co., Ltd.；
    IPC主号:H04R19-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 発明の名称
    [0003] 3ンデ " ィグ ィャノラ Aユー 3Τ Γ その製造方
    [0004] ¾ 及 ζ¾ デンサマイクロ *ン 技術分野
    [0005] この発明はコ ンデンサマイ ク 口ホン、 特にそれに用いられる ダイ ヤフラムュニッ ト及びその製造方法に関する。
    [0006] 背景技術
    [0007] 従来のコ ンデンサマイ ク ロホ ンを第 1図に示す。 前後が開放 された筒状匣体 1 1 の前方端につば 1 2がー体に形成されてい る。 このつば 1 2 の内面に膜保持用リ ング 1 3 , 1 4が押しつ けられている。 膜保持用リ ング 1 3 , 1 4 にダイ ヤフ ラム （振 動膜） 1 5 の周縁部が挟まれて保持される。 その振動膜 1 5 の 背面に突き上げ筒 1 6が前方に向って押し付けられる。 匣体 11 の内周面に母螺 1 7が形成され、 リ ング状ねじ 1 8が母螺 1 Ί とねじ結合されて膜保持用リ ング 1 3 , 1 4を前方に押えて固 定し、 更にリ ング状ねじ 1 9 , 2 1 が母螺 1 7 とねじ結合され， リ ング状ねじ 1 9 , 2 1 により突き上げ筒 1 6が振動膜 1 5 に 押し付けられる。 この押し付けにより振動膜 1 5 には所望の張 力が与えられる。
    [0008] 振動膜 1 5 の背面と近接対向して背極 2 2が配され、 背極 22 の後部は絶緣材のリ ング找保持板 2 3 により保持され、 保持板 2 3 は母螺 1 7 とねじ結合したリ ング状ねじ 2 1 により保持さ れる。 突き上げ筒 1 6 と保持板 2 3 との閩にスぺーサ 2 0が介 在され振動膜 1 5 と背極 2 2 との間隔が決められる。 リ ング状 ねじ 2 1 の背後に更にリ ング状ねじ 2 4が母螺 1 Ί とねじ結合 されている。 背極 2 2には端子 2 5が取付けられている。 匣体 1 1 の前面にはグリ ツ ド 2 6が被されている。 背極 2 2には振 勣膜 1 5 と対向してエレク ト レ ッ ト膜 2 7が被着されている。
    [0009] 従来のコ ンデンサマイ クロホンの振勖膜 1 5 は突き上げ筒 16 により押されて所定の張力が得られているものであり、 コ ンデ ンサマイ クロホン内に突き上げ筒が内蔵されたものとなってい るためコ ンデンサマイ ク ロホンの形状が大き く、 組立工程数が 多くかつ厄介で高価なものとなる欠点があった。 また振動膜 15 を突き上げ筒 1 6で張力を与え、 その突き上げ筒 1 6をリ ング ねじ 1 9で匣体 1 1に保持しているため、 膜保持用リ ング 1 3 , 1 4、 保持用リ ング犾ねじ 1 8、 突き上げ筒 1 6、 リ ング状ね じ 1 9等を匣体 1 1 と同一材で構成しないと、 周囲温度の変動 で振勖膜 1 5 の張力が変動するおそれがあつた。 また二つのね じ 1 9 , 2 1で固定していても突き上げ筒 1 6 の突き上げ找態 が変化し、 振動膜 1 5 の張力が変化するおそれがあった。
    [0010] 更に第 1図に示すマイ クロホンでは振動膜 1 5 と背極 2 2 と の間隔を高い精度で所定寸法にする必要があるが、 そのために 突き上げ筒 1 6 と背極 2 2 との各高さ （軸心と平行した方向の 長さ） を精密研磨で同一値に任上げ、 スぺーサ 2 0 の厚みで振 動膜 1 5及び背極 2 2 の間隔を確保していた。 この場合、 突き 上げ筒 1 6 と背極 2 2 とに高い加工精度が要求され、 かつスぺ ーサ 2 0を必要とし、 部品点数が多く なり、 これらのためにマ イ ク 口ホンの価格が高く なっていた。
    [0011] この発明の目的はそれ自体で必要な張力で保持された振動膜 を有する簡単な構造のダイヤフラムユニッ ト及びその製造方法 を提供することである。 この発明のもう 1 つの目的はマイ ク ロホ ン匣体内に組込まれ た状態で振動膜の張力が温度の影響を受けに く いダイ ヤフ ラム ユニッ トを提供するこ とである。
    [0012] この発明のもう 1 つの目的はダイ ヤフラムュニツ トを組込ん だ簡単な構造のコ ンデンサマイ ク ロホンを提供することである e この発明の更にもう 1 つの目的はコ ンデンサギャ ップの調整 が容易であり、 かつ簡単な構造のコ ンデンサマイ ク ロホ ンを提 供することである。
    [0013] 発明の開示
    [0014] この発明によるダイ ヤフラムュニッ トは第 1 リ ングと、 第 2 リ ングと、 所定の張力が与えられて周緣がこれら第 i及び第 2 リ ングにより挟持された振動膜を舍む。 このような構成である ため振動膜に張力を与えるための突き上げ筒を用いる必要がな く、 それだけ部品点数が少な く かつ小形のコ ンデンサマイ ク 口 ホ ンを作ることができる。 特に第 1 リ ングをマイ ク ロホ ンの匣 体と兼ねさせることもでき、 その場合は一層小形化が可能とな る。 更に背極を保持する保持板の材料として快削性結晶ガラス を使えばその周面にネジを切るこ とができるのでコ ンデンサギ ャ ップの調整が容易なマイ ク 口ホンを搆成することができる。 またこの発明によれば治具本体に振動膜の周縁部を保持し、 第 1 リ ングを上記治具本体に係合した突き上げ具により押して 振動膜に張力を与え、 その状態で上記第 1 リ ングと第 2 リ.ング とで上記振動膜を挟み、 その後、 上記第 1 リ ング及び第 2 リ ン グと上記振動膜とを電子ビーム溶接する。 このよう にして第 1 リ ング及び第 2 リ ングに振動膜が挟まれ、 それ自体で所定の張 力が与えられているダイ ヤフ ラムュニ 'ン トが得られる。 更にこの発明の他のものによれば振動膜を第 1 リ ングと第 2 リ ングとで挟み、 第 1 リ ング及び第 2 リ ングと振勖膜とを電子 ビームで溶接し、 その後、 第 1 リ ング及び第 2 リ ングの径を押 し拡げて上記振動膜に張力を与える。 この場合も得られたダイ ャフラムュニッ トの振動膜ばそれ自体で所定の張力が与えられ たものとなる。 従ってコ ンデンサマイ クロホンに組込まれた場 合に突き上げ筒を必要としない。
    [0015] 図面の簡単な説明
    [0016] 第 1図は従来のコ ンデンサマイ ク ロホンの例を示す断面図 ； 第 2 A— 2 D図はこの発明のダイ ヤフラムユニッ トの第 1実 施例の製造工程を説明するための断面図 ；
    [0017] 第 3図はダイヤフラムュニッ トの第 2実施例の第 2 D図に対 応する断面図 ；
    [0018] 第 4 A、 4 B図はこの発明のダイ ヤフラムユニッ トを製造す るもう 1つの方法を説明するための断面図 ；
    [0019] 第 5図はこの発明のダイ ヤフラムュニッ トを組込んだコ ンデ ンサマイ ク ロホンの例を示す断面図 ；
    [0020] 第 6図はこの発明のダイヤフラムュニッ トを組込んだコ ンデ ンサマイ ク ロホ ンの他の例を示す断面図 ；
    [0021] 第 7図はこの発明めダィ ャフラムユニッ トの他の例を^^す断 面図 ；
    [0022] 第 8 A、 8 B図ば第 7図のダイ ヤフラムユニッ トを製造する 工程を説明するための断面図 ；
    [0023] 第 9図は第 7図のダイ ヤフ ラムユニッ トを組込んだコ ンデン サマイ ク ロホンの例を示す断面図 ； 及び
    [0024] 第 1 0図は背極を保持するための保持板 2 3を快削性結晶ガ ラスで形成した場合のコ ンデンサマイ ク ロホ ンの一例を示す断 面図である。
    [0025] 発明を実施するための最良の形態
    [0026] 第 2 A〜 2 D図を参照してこの発明による振動板製造法の第 1実施例を説明する。 厚さが l 〜 6 / m程度のチタ ン、 チタ ン 合金、 ニ ッケル合金などの金属の振勤膜 1 5が先ず治具本体 31 に周縁部にて保持される。 この例では治具本体 3 1 は円筒状を しており、 その前面の内周面に一体につば 3 2が形成され、 つ ば 3 2 の背面に振動膜 1 5 の周緣部が膜抑えリ ング 3 3で抑え られる。 治具本体 3 1 の内周面に母螺 3 4が形成され、 母螺 34 に固定リ ング 3 5 の外周面のねじがねじ結合され、 固定リ ング 3 5 により膜抑えリ ング 3 3 はつば 3 2 に抑えられる。 このよ う にして振動膜 1 5が治具本体 3 1 に保持固定される。
    [0027] 次に治具本体 3 1 と係合した突き上げ具 3 6 により、 第 1 リ ング 3 7を振動膜 1 5 に押し付けて振動膜 1 5 に張力が与えら れる。 突き上げ具 3 6 は筒状をしており、 その前方端面に第 1 リ ング 3 7が位置決めされて配され、 後方端外周面にねじつば 3 8がー体に形成され、 ねじつば 3 8 の外周面ねじは母螺 3 4 とねじ結合している。 突き上げ具 3 6を回動することにより第 1 リ ング 3 7 を前方へ押すことができる。 このようにして第 1 リ ング 3 7 を振動膜 1 5が所定の張力となる迄、 前方へ押す。 この犾態で第 2 C図に示すように振動膜 1 5を介して第 1 リ ング 3 7 と対向して第 2 リ ング 3 9 を配し、 つまり第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ング 3 9 とで振動膜 1 5を挟む。 補助具 4 1 によ り第 2 リ ング 3 9 を第 1 リ ング 3 7側に抑え付ける。
    [0028] この第 2 C図に示した状態で第 2 D図に示すように真空槽 42 内に配し 1 X 10— 2 Torr 程度の真空雰面気とし、 この状態で振 動膜 1 5 と第 2 リ ング 3 9 との境界に電子ビームガン （ E B G ) 4 0からの電子ビーム （スポ ッ ト径が 0. 3 im以下） 4 3を照射 し、 治具本体 3 1、 補助具 4 1 などの全体をその軸心を中心回 転して、 振動膜 1 5 と、 第 1 リ ング 3 7及び第 2 リ ング 3 9 と をその全周で電子ビーム溶接する。 1点での電子ビームの照射 時藺は約 1秒程度でよい。 この溶接が良好に行われるように振 動膜 1 5 と第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9 とは同一材料であ る こ とが望ま しい。
    [0029] このようにして振動膜 1 5 の張力が溶接前に与えた張力とほ ぼ同じ状態で振動膜 1 5 は第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ング 3 9 と に一体化されダイ ャフ ラムュニ ッ トが搆成される。 第 1 リ ング 3 7及び第 2 リ ング 3 9 に保持された振動膜 1 5 はそれ自体で 所定の張力を与えられているので、 コ ンデンサマイ ク ロホンに 組込む場合に他に従来のような突き上げ筒のような張力付与手 段をコ ンデンサ内に設ける必要がない。
    [0030] 第 3図は第 1 リ ング 3 7 としてマイ クロホン匣体を兼ねるも のを甩いた第 2実施例を示し、 第 2 D図と対応する図である。 つまり第 1 リ ング 3 7 はこの例では円筒状をしている。 この匣 体を兼ねる第 1 リ ングを用いてコ ンデンサマイ ク 口ホンを構成 した例を後で示す。
    [0031] 第 4 A図及び第 4 B図はこの発明の第 3実施例を示し、 第 4 A図に示すように、 第 1固定治具 4 5上に第 1 リ ング 3 了を配 し、 その第 1 リ ング 3 7上に振動膜 1 5を配し、 振動膜 1 5を 介して第 2 リ ング 3 9を第 1 リ ング上に配す、 第 2 リ ング 3 9 上に第 2面定治具 4 6を配置する。 このよう にして振動膜 1 5 は張力が与えられない状態で第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ング 3 9 とに挟まれる。
    [0032] この状態で 1 X 10-2 Torr 程度の真空槽 4 2内に配し、 振動 膜 1 5 と第 1 リ ング 3 7又は第 2 リ ング 3 9 との接触点に電子 ビーム 4 3を照射すると共に固定治具 4 5 , 4 6を回転させる こ とにより、 振動膜 1 5 と第 1 リ ング 3 7及び第 2 リ ング 3 9 とを電子ビーム溶接する。
    [0033] その後、 第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9 の柽を押し拡げて 振動膜 1 5 に所定の張力を与える。 例えば第 4 B図に示すよう に、 それぞれ円筒状をしており、 端部の径が小とされた小径部 をもつ補助治具 4 7 , 4 &が用意され、 これら捕助治具 4 7 ,
    [0034] 4 8 の各小径部が第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9内にそれぞ れ嵌合挿入され、 これら補助治具 4 7 , 4 8内に、 端部が円錐 台状とされた拡張治具 5 1 , 5 2が押し込まれ、 その円錐台状 部の周面がそれぞれ補助治具 4 7 , 4 8内の大径部と小径部と の境界縁に押し込まれ、 拡張治具 5 1 , 5 2を互に接近するよ う に押し込むこ とによ り補助治具 5 1 , 5 2を介して第 1 リ ン グ 3 7、 第 2 リ ング 3 9 の各径が拡大され、 振動膜 1 5 に張力 が与えられる。 このよう に径を拡大して張力を与えるには振動 膜 1 5、 第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ング 3 9 と してチタ ン合金の 形結晶構造のものが拡張し易い点で適している。
    [0035] 上述の何れの場合でも振動膜 1 5 に与える張力を選定するこ とによりマイ ク ロホンの周波数帯域を自由に選択することがで きる。
    [0036] 第 5図に、 第 2 A〜 2 D図、 第 4 A, 4 B図に示した実施例 により得られたダイ ヤフラムュニッ ト 5 5 を用いたコ ンデンサ マイ クロホンの例を示す。 この例では第 1及び第 2 リ ング 3 7 , 3 9 の対接面はテーパ面とされ、 第 1 リ ング 3 7 のテーパ面の 內径ば第 2 リ ング 3 9のテーパ面の内径より小とされ、 かつ第 2 リ ング 3 9 の内側に突出して入り込んでいる。 従つて振動膜 1 5 の振動部周緣は第 1 リ ング 3 7のテーパ面内周緣により支 持されている。 又、 第 1 リ ング 3 7の内周面にはその後方部で 内径が大となる段部 4 0が形成されている。 第 1 リ ング 3 7及 び第 2 リ ング 3 9 で振動膜 1 5を挟み電子ビーム溶接したダイ ャフラムュニッ ト 5 5 は、 匣体 1 1 のつば 1 2 の内面に対接さ れる。 振動膜 1 5 と対向して背極 2 2が配され、 背極 2 2 には 振動膜 1 5 と対向してエ レク ト レッ ト膜 2 7が被着されている < 絶縁材ょりなる リ ング状の保持板 2 3 の中心穴 2 3 aに背極 22 の支柱 2 2 a に設けられたフラ ンジ部 2 2 bが嵌合され、 背極 の支柱 2 2 a ば保持扳 2 3 の背後に突出している。 支柱 2 2 a は後部にネジが切ってあり、 これに端子 2 5 のネジ穴を係合し， 締付けることにより背極 2 2 は保持板 2 3 に固定保持される。 この保持板 2 3 は第 1 リ ング 3 7 の内周面の段部 4 0 にスぺー サ 2 0を介して対接保持される。 保持板 2 3 の背面及び外周面 に捕助リ ング 5 7が嵌合保持され捕助リ ング 5 7の背面にリ ン グ状ねじ 2 4が押し付けられている。 リ ング状ねじ 2 4 は匣体 1 1 の母螺 1 7にねじ結合している。 第 1 リ ング 3 7 の後端か ら軸方向にスリ ッ ト 5 8が切り込まれ、 そのスリ ッ ト 5 8 によ りスぺーサ 2 0 との簡に背極 2 2の背後の背室 2 8 に達する通 路 5 9が形成されこの通路 5 9 は、 匣体 1 1 に形成じた通気孔 6 1を通じて外部と連通している。 保持板 2 3 と端子 2 5 との 間にヮ フ シャ 6 2 が介在されている。 第 3図に示した実施例により得られた振勣扳を用いたコ ンデ ンサマイ ク ロホ ンの例を第 6図に、 第 5図と対応する部分に同 一符号を付けて示す。 第 1 リ ング 3 7 は円筒状に構成され、 第 1 リ ング 3 7 はマイ ク ロホン匣体を兼用するものであり、 第 1 リ ング 3 7内に背極 2 2、 これを保持する保持板 2 3が配され. 更に捕助リ ング 5 7 も収容されている。 第 1 リ ング 3 7 の内周 面の後部に母螺 1 Ίが形成され、 この母螺 1 7 にリ ング状ねじ
    [0037] 2 4がねじ結合され、 第 1 リ ング 3 7 に背極 2 2が保持される < 振動膜 1 5 の前面と対向したグリ 'ン ド 2 6が第 1 リ ング 3 7 の 前方部に被される。
    [0038] 第 7図はこの発明のダイ ヤフラムユニッ トの第 4実施例を示 す。 金属製の第 1 リ ング 3 7 の一面に振動膜 1 5が接着される《 振勣膜 1 5 として金属膜を用いる場合は第 1 リ ング 3 7 に対し、 その外周緣に沿って電子ビーム溶接による接着が行われ、 振動 膜 1 5 としてポリ エステルなどの合成樹脂材の膜に金属層を被 着させたものを用いる場合は接着剤により第 1 リ ング 3 7 に接 着させる。
    [0039] その第 1 リ ング 3 7 の接着面に対し、 金属製の第 2 リ ング 39 が接着される。 第 2 リ ング 3 9 としては第 1 リ ング 3 7 と同一 材が好ま し く、 その接着は電子ビーム溶接により行われる。 こ の第 2 リ ング 3 9 の内側に、 第 1 リ ング 3 7 の内径より小さい 柽のリ ング状突部 3 9 a がー体に形成され、 外側に第 1 リ ング
    [0040] 3 7 の外径より大きい径のリ ム 3 9 bがー体に形成され、 これ らリ ング状突部 3 9 a とリ ム 3 9 bにより第 1 リ ングを受ける 凹部が形成されている。 このリ ング状突部 3 9 a により振動膜 1 5 はその接着面より第 1 リ ング 3 7 の他面側に突き上げられ 所定の張力が与えられる。 その状態で第 2 リ ング 3 9 のリ ム 3 9 aが第 1 リ ングの外周面に電子ビーム溶接される。
    [0041] このようなダイヤフラムユニッ ト 5 5 を作るには例えば第 8 A図に示すように、 10— z Torr 程度に真空 きされた真空橒 42 内において、 第 1 リ ング 3 7が治具 3 6上に配される。 その第 1 リ ング 3 7の一面上に金属膜 1 5を自由な扰態でほぼ平坦に 配し、 その上から固定治具 4 1を第 1 リ ング 3 7 に押える。 こ の状態で電子ビーム 4 3を斜め方向から照射して金属膜 1 5を 第 1 リ ング 3 7にその全周にわたって溶接する。
    [0042] 次に第 8 B図に示すように真空槽 4 2内で治具 3 6 ' 上に第 2 リ ング 3 9を配し、 その上に金属膜 1 5を張った第 1 リ ング 3 7を、 その金属膜 1 5側から配し、 更にその上から治具 4 1 で第 1 リ ング 3 7を第 2 リ ング 3 9 に押え、 それによつて第 2 リ ング 3 9 の突部 3 9 aが第 1 リ ング内に突出して金属膜 1 5 に所定の張力を与える。 その扰態で第 1 リ ング 3 7、 第 2 リ ン グ 3 9 の接触部に斜めに電子ビーム 4 3を照射して全周を溶接 して、 所定の張力で張られた金属膜 1 5 のダイヤフラムュニッ ト 5 5が得られる。 なお 3 9を第 1 リ ング、 3 7を第 2 リ ング としてもよい。
    [0043] 次に第 7〜 8 A、 8 B図に示す実施例の変形したダイ ャフラ ムユニッ ト 5 5を用いたマイ ク ロホンの例を第 9図に示す。 匣 体 1 1 の前面につば 1 2が形成され、 つば 1 2に第 2 リ ング 39 が対接するようにダイ ヤフラムュニッ ト 5 5が匣体 1 1内に揷 入されている。 第 1 リ ング 3 7 は匣体 1 1 の母螺 1 7 にリ ング 状ねじ 4 4がねじ込まれて匣体 1 1 に固定される。 振動膜 1 5 と対向して背極 2 2が配され、 背極 2 2 の振動膜 1 5側にエ レ II ク ト レッ ト膜 2 7が被着されている。 第 1 リ ング 3 7 の内周に 形成された段部にスぺーサ 2 0を介して対接するように保持板 2 3が挿入され、 その保持板 2 3 に背極 2 2が保持される。 保 持板 2 3 は補助リ ング 5 7を介してリ ング状ねじ 2 4 により固 定保持される。 リ ング状ねじ 2 4 は母螺 1 7 にねじ込まれる。 背極 2 2 にヮ ッ シャ 6 2を介して端子 2 5が取付けられる。 第 1 0図はこの発明のコ ンデンサマイ ク 口ホンの他の実施例 を示し、 第 9図と対応する部分に同一符号を付けてある。 この 発明においては背極 2 2を保持する絶縁材の保持板 2 3 として 快削性結晶ガラスが用いられ、 その保持板 2 3 の外周面にはね じが切られている。 更に必要に応じてレーザ光ビームにより通 気孔 5 3が開けられている。 また保持板 2 3 の中心に揷通孔が 形成され、 この揷通孔を通じ端子 2 5が背極 2 2 にねじ込まれ ている。 匣体 1 1 内に装着されているダイ ヤフラムュニッ ト 55 は第 2 A〜 2 B図又は第 3図で説明したような方法で振動膜 15 に所定の張力を与えてその周緣部を第 1 リ ング 3 7 と第 2 リ ン グ 3 9 とにより挟持し、 リ ング 3 7 > 3 9 の外周に沿って溶接 して構成したものである。 第 1 リ ング 3 2 の内周面にねじが切 られ、 そこに保持板 2 3がねじ込まれる。 保持板 2 3 をねじ込 む深さは振動膜 1 5 と背極 2 2 との間の静電容量が所定値にな ることによって決められる。 第 1 リ ング 3 7 の背後にリ ング状 ねじ 4 4が匣体 1 1 の母螺 1 7 にねじ結合されて、 第 1 リ ング 3 7を匣体 1 1 に保持固定するとともに弾性を有する樹脂で作 られたブッ シュ 6 3 を介して保持板 2 3 を押し固定する。
    [0044] 快削性結晶ガラスは例えば米国のコーニンダグラス社からマ コール （MAC0R)という商標で発売されているもので、 ます原料 を溶融して型に入れ、 ガラス質板、 角棒、 丸棒など所望の形袄 体を作り、 これを熱処理して、 ガラス中に合成雲母の微結晶を ラ ンダムに成長させたガラスとセラ ミ ック とからなる等方性の 複合材料である。 この快削性結晶ガラスは熱膨張係数がチタン 合金に比較的近く、 9. 4 X lO - 6 / *Cであり、 体積抵抗率が高く， 優れた絶緣性を示し、 101 δ Ω αη以上であり、 吸水率が 0で耐水 性に優れ、 切削加工が可能で複雑な形状に加工でき、 ねじ切り もできる。
    [0045] 従来においては背極 2 2を固定する保持板 2 3 として、 背極 2 2 の材料 （チタンまたはチタ ン合金） の熱膨張係数と同程度 の熱膨張係数があり、 かつ体積抵抗率が大き く、 铯緣破壌電圧 が高く、 吸水率がない点から、 光学ガラスが用いられていた。 しかし光学ガラスはねじ切り、 微細な孔あけなどの加工が困難 であり、 しかも高価であつたが、 この発明においてば背極 2 2 の保持板 2 3 として快削性結晶ガラスを用いたため、 ねじ加工 ができ、 第 1 0図に示したように周面にねじを付け、 第 1 リ ン グ 3 7の内周面のねじにねじ結合させているため、 保持扳 2 3 を画動することにより、 振動膜 1 5 と背極 2 2 との間隙を所望 の値に容易に調整することができ、 このため背極 2 2、 第 1 リ ング 3 7 の高さを高精度に設定する必要がなく、 つまり精密加 ェを必要とせず、 スぺーサ 2 0が不要であり、 かつ保持扳 2 3 の匣体 1 1への保持も簡単であり、 マイ ク ロホンを安価に作る ことができる。 更に保持板 2 3 の加工が容易なため、 第 1 0図 に示すように保持扳 2 3 に例えば 0. 2 腿程の微細な通気孔 5 3 をレーザ光ビームにより形成するこ とができる。 しかも保持板 2 3 に対し任意の大きさの通気孔 5 3を任意の位置に^成する ことができ、 設計の自由度が大きい。
    [0046] 以上述べたようにこの発明によれば第 1 リ ング及び第 2 リ ン グに振動膜が張力付与状態で挟まれて溶接あるいは接着されて いるため、 マイ ク ロホ ン内に振動膜に張力を与えるための突き 上げ筒などを必要とせず、 これに伴ってマイ ク ロホンの部品点 数が少な く なり、 組立ても簡単で、 小形にして安価に作ること が可能となる。 第 1 リ ングにマイ ク ロホン匣体を兼用させる場 合は部品点数が更に少な く なり、 一層小形かつ安価に作る こと が可能となる。
    [0047] 第 1 リ ング及び第 2 リ ングに振動膜が挟まれて電子ビーム溶 接させているため振動膜の張力が緩和され難く、 所定値に保持 される。 第 5、 6、 9及び 1 0図に示すコ ンデンサマイ ク ロホ ンの実施例ではダイ ヤフラムュニ ッ ト 5 5 と してチタ ン、 チタ ン合金、 匣体 1 1 と してステンレスなど熱膨張係数が違う それ それに適したものを用いることができる。
    [0048] 更にこの発明では第 1 リ ングと第 2 リ ングとのみにより振動 膜が保持され、 かつ張力が与えられているため、 温度変動があ つても振動膜の張力が匣体 1 1、 補助リ ング 5 7、 等の熱膨張 変化の影響を受けない。 従って匣体 1 1、 補助リ ング 5 7等と、 第 1、 第 2 リ ングとを同一材とする必要がな く、 安価にコ ンデ ンサマイ ク ロホ ンを作る こ とが可能となる。
    权利要求:
    Claims
    請求の範囲
    (1) 金属の第 1 リ ングと金属の第 2 リ ングとにより金属の振動 膜の周緣部が挟まれ、 その振動膜に所定の張力が与えられて おり、 かつこれら第 1 リ ング及び第 2 リ ングと振動膜とが電 子ビーム溶接されているコ ンデンサマイ ク 口ホンのダイヤフ ラムュ,ニッ—卜。
    (2) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方は他方より長い円筒状であ り、 コ ンデンサマイ クロホンの匣体を構成していることを特 徴とする:' 請求の範囲第 1項記載のコ ンデンサマイ クロホ ンのダイヤフラムユニッ ト。
    (3) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方の内周面にばネジが切られ ている ' 請求の範面第 1項記載のコ ンデンサマイ クロホ ン のダイ ヤフラムユニッ ト。
    (4) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方の内周面には上記振動膜側 で内径が小となる段部が形成されている - 請求の範囲第 1 項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホンのダイ ャフラムュニッ ト。
    (5) 上記第 1 リ ングの上記第 2 リ ングと対向する端面の内周縁 部から上記第 2 リ ングの内側に突出するリ ング状突部が上記 第 1 リ ングに一体に形成されている— . 請求の範面第 1項記 載のコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤフラムユニ ッ ト。
    (6) 上記第 1及び第 2 ングの互いに対向する端面は上記振動 膜を介して対接する環状テーパ面を有し、 上記第 1 リ ングの 上記環扰テーパ面は上記第 1 リ ングの丙周面に向かうにつれ 上記第 2 リ ング側に突出し、 かつそのテーパ面の内周径は上 記第 2 リ ングの上記環祅テーパ面の内周径より小とされた 請求の範通第 1 項記載のコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤ フラムュニ ッ ト。
    (7) 上記第 1 リ ングの上記第 2 リ ングと対向する上記端面の外 周緣部から上記第 2 リ ングの外周に沿って軸方向に突出した リ ムが一体に形成されている；, . . 請求の範囲第 5項記載のコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤフラムュニ ッ ト。
    (8) 金属の第 1 リ ングと、
    その第 1 リ ングの一面に周緣部が接着された振動膜と、 上記第 1 リ ングの内径より径が小さいリ ング状突部を有し- その突部により上記振動膜を、 その接着面より も第 1 リ ング の他面側に突き上げ、 上記第 1 リ ングと対接されて溶接され ている金属の第 2 リ ングとよ り なるコ ンデンサマイ ク ロホ ン のダイ ヤフラムュニ ッ ト。
    (9) 上記第 2 リ ングの外周緣部から上記第 1 リ ングの外周に沿 つて軸方向に突出したリ ムが一体に形成されており、 上記リ ムの周縁部は上記第 1 リ ングの外周に電子ビーム溶接されて いる . '請求の範囲第 8項記載のコ ンデンサマイ り 口ホ ンの ダイ ヤフ ラムュニ ッ ト。
    (10) 上記振動膜は金属であり、 その周緣部は上記第 1 リ ングの 外周縁に電子ビーム溶接されている . 請求の範囲第 8項又 は 9項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホ ンのダイ ヤフラムュニ ッ 卜 β
    (ID 上記第 1及び第 2 リ ングの一方は他方より軸方向に長い円 筒状であり コ ンデンサマイ ク 口ホ ンの匣体を構成している- . 請求の範囲第 1 0項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ンのダイ ャフ ラムュニ ッ ト。
    02) 上記第 1及び第 2 リ ングの一方は他方より軸方向に長い円 筒扰であり、 その内周面にネジが切られている^ . '.請求の範 面第 1 0項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ンのダイ ヤフラムュ ニッ ト。
    G3) 上記第 1及び第.2 リ ングの一方は他方より敏方向に長い円 筒扰であり、 その内) W面には上記振動膜側で内径が小となる 段部が形成されている、 請求の範囲第 1 0項記載のコ ンデ ンサマイ ク ロホンのダイヤフラムユニッ ト。
    m 治具本体に金属の振動膜の周縁部を保持し、
    金属の第 1 リ ングを、 上記治具本体に係合した突き上げ具 により押して上記振動膜に所定の張力を与え、
    その状態で上記振勣膜を上記第 1 リ ングと金属の第 2 リ ン グとで挟み、
    その後、 上記第 1 リ ング及び上記第 2 リ ングと上記振動膜 とを電子ビーム溶接するコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ヤフ ラムュニッ トの製造法。
    (13 金属の振動膜を金属の第 1 リ ングと金属の第 2 リ ングとで 挟み、
    その第 1 リ ング及び第 2 リ ングと振動膜とを電子ビーム溶 接し、
    その後、 第 1 リ ング及び第 2 リ ングの柽を押し拡げて上記 振動膜に所定の張力を与えるコ ンデンサマイ ク ロホンのダイ ャフ ラムユニッ トの製造法。
    金属の振動膜を金属の第 1 リ ングの一方の端面の外周緣に 電子ビーム溶接し、
    金属の第 2 リ ングの一方の端面に一体に形成された上記第 1 リ ングの内径より小さいリ ング状突部を上記振勣膜に圧接 して所定の張力を与え、
    上記第 2 リ ングの外周縁に一体に形成したリ ムを上記第 1 リ ングの外周面に電子ビーム溶接するコ ンデンサマイ ク 口ホ ンのダイ ヤフラムュニ ッ トの製造方法。
    m 上記第 1 リ ングはコ ンデンサマイ ク ロホンの匣体を構成す る ものである こ とを特徵とする ' . 請求の範囲第 1 4、 1 5 又は 1 6項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホンのダイ ャフラムュ 二ッ 卜の製造方法。
    (18) 所定の張力が与えられた振動膜と、 その振動膜の周緣部を 挟持し互いに電子ビームに溶接された金属の第 1及び第 2 リ ングとから成る一体のダイ ヤフラムュニッ ト と、
    上記ダイ ヤフラムュニッ トの上記第 1 リ ングに係合して配 置された絶緣体の保持板と、
    上記保持板に保持され上記振動膜と所定の空隙を作るよう に配置された背極と、
    上記保持板の背後に設けられ、 上記保持板を上記第 1 リ ン グに固定するための固定手段、
    とを舍むコ ンデンサマイ ク 口ホ ン。
    (19) 上記第 1 リ ングは円筒找であり、 その内周面には段部が形 成され、 スぺーサを介して上記保持板が上記段部に圧接され ている ' ..請求の範囲第 1 8項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ン。
    ^ 上記ダィ ャフ ラムュニ ッ トは、 前端面にフ ラ ンジ部が一体 に形成された円筒找匣体内に上記フラ ンジの内側面に対接す るよう装着されている ノ- 請求の範囲第 1 8又は 1 9項記載 のコ ンデンサマイ ク ロホ ン。 1)上記第 1 リ ングはその後部が軸方向に延長された円筒扰で あり、 その後部の丙周面にはネジが切られてネジ穴とされ、 上記保持板は上記第 1 リ ング内に配置され、 上記保持板の背 後において上記固定手段の外周面に形成されたネジが上記ネ ジ穴にネジ込まれている ：. ... 請求の範囲第 1 8又は 1 9項記 載のコ ンデンサマイ ク ロホン。
    (22)上記ダイャフラムュニッ トの前方部は少く とも 1 つの穴が 開けられた前面を有する円筒キヤ ップ内に掙入されている
    •請求の範西第 2 1項記載のコ ンデンサマイ ク ロホン。
    (23)円筒钦の匣体内に振動膜が保持され、 その振動膜と対向し て背極が匣体内に配され、 その背極は铯緣材の保持板により 匣体に保持された静電澎マイ クロホンにおいて、
    上記絶緣材の保持板として快削性結晶ガラスが用いられ、 かつその保持板はねじ結合により上記匣体内に保持されて いることを特徴とするコ ンデンサマイ クロホン。
    (24)上記保持板には、 上記振動膜の背室と外部とを通じる通気 孔が形成されていることを特徴とする · 請求の範囲第 2 3 項記載のコ ンデンサマイ ク 口ホン。
    (25)上記振勖膜は所定の張力が与えられてその周緣部が金属の 第 1及び第 2 リ ングに挟持され、 上記第 1及び第 2 リ ングは 互いに電子ビーム溶接され上記振動膜と兵に一体のダィャフ ラムユニッ トを構成している - 請求の範囲第 2 3又は 2 4 項記戴のコ ンデンサマイ ク ロホン。
    (26)上記第 1 リ ングはその後部が軸方向に延長された円筒状で あり、 その内周面にネジが切られており、 上記保持板は上記 第 1 リ ングにネジ結合されている 請求の範西第 2 5項記 載のコ ンデンサマイ ク 口ホ ン。
    (27)上記匣体の前端面は一体に形成されたフラ ンジ部を有し、 上記ダイ ヤフラムュニッ トは上記フラ ンジ部の内側面に対接 して上記匣体内に装着され、 上記匣体の後部内周面にネジが 切られておりそこに上記第 1 リ ングを固定するためのリ ング 状ネジがネジ込まれて上記第 1 リ ングの後端と圧接されてい る 請求の範囲第 2 6項記載のコ ンデンサマイ ク ロホ ン。
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